熱式質(zhì)量流量計也叫量熱式流量計，可以對流體質(zhì)量進(jìn)行實(shí)時(shí)的檢測，它是一種流體質(zhì)量流量?jì)x器，利用流體通過(guò)外部熱源加熱管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來(lái)測量流體質(zhì)量流量，或者利用加熱流體時(shí)流體溫度上升所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來(lái)測量流體質(zhì)量流量。通常用于測量氣體的質(zhì)量流量。

雖然都是熱式，但是原理可分為兩種：一個(gè)是加熱流體流經(jīng)的部分管道，利用流體流經(jīng)加熱管道時(shí)溫度場(chǎng)的變化進(jìn)行測量，二是測量原理是加熱流體本身，利用能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系進(jìn)行測量。

熱式氣體質(zhì)量流量計中的傳感器通常由兩個(gè)基準級熱電阻組成，一個(gè)是速度傳感器，另一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個(gè)熱電阻被放置在管道中的被測氣體中時(shí)，速度傳感器被加熱，另一個(gè)溫度傳感器被用來(lái)測量氣體的溫度。隨著(zhù)氣體流量的增加，帶走的熱量上升，溫度傳感器本身的溫度下降。溫度傳感器前后的溫度變化值和通過(guò)管道的氣體質(zhì)量流量正是線(xiàn)性份額，因此工作原理可以計算氣體質(zhì)量流量。

氣體通過(guò)的測量段有兩個(gè)熱阻元件，一個(gè)是溫度檢測，另一個(gè)是加熱器。用于檢測氣體溫度的溫度傳感元件，加熱器通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測氣體之間的恒定溫差。當氣體流量增加時(shí)，冷卻效果越大，熱電阻之間的恒溫電流就越大。這種遞與氣體質(zhì)量流量相比，即供應電流與氣體質(zhì)量流量之間存在相應的函數關(guān)系，以反映氣體流量。

熱式質(zhì)量流量計壓力損失小，只需與流量傳感器配套使用，形成固定流量計，工作過(guò)程中損壞或故障少，是實(shí)用流量計，可測量低流量或小流量，管道污垢或雜質(zhì)無(wú)關(guān)，熱質(zhì)量流量計能準確測量流量，壓力損失不大，方便快捷。當使用熱質(zhì)流量計測量氣體時(shí)，氣體的比熱容量會(huì )隨著(zhù)壓力溫度的變化而變化，但所使用的溫度壓力附近的小變化可視為常數。